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本文標題:"粗糙度測量儀隨著微機技術、集成技術提高測量精度"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2014-6-20 10:15:15

 粗糙度測量儀隨著微機技術、集成技術提高測量精度

 
粗糙度測量儀的微機技術有哪些
 
    粗糙度測量儀對表面粗糙度的理論有新進展,面貌評定的核心在
于對物體的特征信號的提取和對性能的評定,一方面提出了多分離與
重構方法。
 
    粗糙度測量儀隨著微機技術、集成技術、機電化技術等的發展,
出現了用分形法、Motif 法、功能集法、時間技術分析法、最小多項
式合法、濾波法等評定方法。
 
    粗糙度測量儀對相對的分形法、時間技術分析法、特定功能參數
集法進行測量方法。
 
    粗糙度測量儀對表面粗糙度的光潔度的標準術語給出的參數,幾
何技術面結構輪廓法和面結構的述語、定義及參數符合量面結構輪廓
法接觸觸式儀器的特性。
 
    共焦激光掃描顯微鏡結構示意圖。準直激光通過一個單色鏡被轉
折到具有較高數值孔徑(NA)的微物鏡上,采用微物鏡在焦平面進行
衍射限制聚焦。采用相同的物鏡對從這一物點反射或者發射的光進行
搜染,采用其他的物鏡(管透鏡)聚焦到共焦平面上,即與焦平面處
于共焦的平面上。
 
    在這一位置上放置一個帶孔的光闌(小孔)
 
    來處理非聚熱平面出來的,以及沒有被檢測器獲取的光束。光放
大器用于點檢測。樣品被一點一點地、一行一行地順序掃描。這樣形
成的光截面是,一個對比度較強,在x ,y 和z
 

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