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本文標題:"TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的-光學儀器常識"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2014-12-22 17:39:45

TEM電子顯微鏡樣品測量面積是極小的

 
  在分析TEM樣品時,必須懂得測量面積是極小的,因此,
測量結果末必能代表整塊試樣,應當采用盡可能低的放大倍
數而是要許多位置上隨機地選擇試驗區(qū)域。用復型測定沒有
大的問題。應用的方法同反射光的光學顯微鏡方法也一樣,
除非是由于用了很高的放大倍數而使測量面積很小影響統(tǒng)計
學的測量精度。
 
  SEM具有光學顯微鏡和大部分TEM所復蓋的放大倍數的范圍
,但制樣方法和光學顯微鏡一樣,雖然對SEM觀察時,為改
善圖象反差,常常把試樣浸蝕得深一些,但是使用現代化的
儀器則不一定有深浸蝕的必要。對于高倍下的測量要得到最
好的精確度,要求淺浸蝕,其實,若各相之間的原子序數差
別較大而足以產生滿意的背散射電子圖象的話,許多試樣用
不著浸蝕就可進行觀察,深浸蝕會增加視在尺寸、體積分率
和第二相粒子數而減少它們的間距,深浸蝕試樣對研究形狀
和大小很有用,但任何獲得其他情報的嘗試會導致錯誤的結
論。當試圖用SEM圖象或照片進行測量時,應避免試樣相對
于電子束的傾斜,否則會使分析復雜化。
 

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