本文標題："表面結構的高度測量多功能萬能工具顯微鏡"
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表面結構的高度測量多功能萬能工具顯微鏡
已經有許多試圖分離粗糙度和波度的使用方法的建議
，最行之有效的建議就像英國標準中那樣；有切削工
具所產生的加工紋路為粗糙度，而那些由于導軌誤差
、振動等所引起的振紋屬于波度。
現一般確認給出與波長信息有關的函數是表面的
自相關函數或功率譜，但是調研結果表明，用廉價的
儀器不能輕易測得這個參數。
要控制表面的功能特性，以至當涉及制造工藝的
時候，只憑表面結構的高度測量是不充分的，這一點
幾乎沒有疑問，平均波長參數引出了一個附加的控制
參量，這個參數取決于形成表面的波長，更確切地說
，它取決于他們的相對幅度。用比較廉價的儀器可以
方便地獲得這個附加的參數。
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