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本文標題："測針不尖等因素引起，輪廓儀最大測量誤差可達15-20％"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2015-7-21 14:5:41

測針不尖等因素引起，輪廓儀最大測量誤差可達15-20％

測量誤差

輪廓儀本身的測量誤差來自電氣誤差和機械誤差。測針

沿被測表面上作垂直于表面輪廓方向的微小位移，引起傳感

器內電感量的變化，使電路內電流變化，經放大、檢波、濾

波、積分等環節，最后輸出。經這一系列環節產生電氣誤差。

測針不尖是輪廓儀的主要誤差。微觀不平度的微小峰谷

是大小不一，深淺不等，斜角很不規則的幾何體。為能探測

到谷底，針尖的圓角半徑必須為零。針尖圓角半徑為零是不

可能的，其次，針尖太尖在測量時在測量力的作用下會劃傷

零件表面。目前測針的針尖圓角半徑為1--30微米。泰勒雪

夫一4輪廓儀有兩種測針，一種針尖圓角半徑為1．25微米，用

于濺量高表面粗糙度儀；另一種針尖圓角半徑為2．5微米，用于一

般測量。由于測針不尖等因素引起的測量誤差，輪廓儀的最

大測量誤差可達15-20％。

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