本文標(biāo)題："擴(kuò)散工藝中對(duì)所用材料樣品研究級(jí)實(shí)驗(yàn)顯微鏡"
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擴(kuò)散工藝中對(duì)所用材料樣品研究級(jí)實(shí)驗(yàn)顯微鏡
在擴(kuò)散工藝中對(duì)所用材料與儀器的純度與潔凈度均有極高要
求。
塵粒、有機(jī)雜質(zhì)和無機(jī)雜質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生局部合金化和擴(kuò)散源，它們
會(huì)破壞理想的高度完美的結(jié)構(gòu)。應(yīng)指出，塵粒和其它：通常為惰性
的材料在擴(kuò)散溫度下會(huì)變得導(dǎo)常活躍和易起化學(xué)反應(yīng)。
成功的擴(kuò)散工藝還要求控制摻雜源，不允許有其它摻雜源。在工
藝操作過程中，石英爐管所吸收的摻雜劑在以后的擴(kuò)散近程中足以
充當(dāng)新的摻雜源。在擴(kuò)散爐的擴(kuò)散區(qū)或擴(kuò)散區(qū)附近使用的推桿、石
英舟和其它操作工具也會(huì)起相同的作用。因此，擴(kuò)散爐、爐管和
操作工具是專用于某一擴(kuò)散工藝的。若磷、硼擴(kuò)散
用的爐管互換使用，或兩者均使用于熱氧化生長(zhǎng)的場(chǎng)合，就會(huì)造
成很大的席煩。
對(duì)攜帶氣體及有關(guān)的罐、閥門和連接管道同樣應(yīng)仔細(xì)地進(jìn)
行操作。在應(yīng)避免潮濕或氧氣氣氛的工藝場(chǎng)合中，氣體管道、閥
門和接頭必須密封防潮。
當(dāng)擴(kuò)散爐散發(fā)的高熱足以燒灼塑料管道時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生另一
個(gè)問題。塑料管道所釋放出來的氣體足以沾污整批硅片。
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