本文標題："測量外延層厚度技術,厚度測量光學工具顯微鏡"
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測量外延層厚度技術,厚度測量光學工具顯微鏡
厚度測量
測量外延層厚度的最簡單的方法是解理染色法。這個工藝方
法是可以直接觀察的，而且不需要進一步鉆研與表中不同的有效
腐蝕劑。但是，它的缺點是屬于破壞性的測量，而且分辨率極限
大約為±O．5微米。因此，雖然磨角可以在某種程度上改善其分
辨率，然而，薄膜厚度的測量總是困難的。
電子衍射
電子衍射效應主要是用于研究晶體表面的最初幾個原子層。
無論是低能的還是高能的電子都可以使用；我們首先考慮低能電
子的情況。
從晶體表面背散射的電子束投射到適當?shù)臒晒馄粱蛘障嗟灼?/div>
上。入射束的能量可以低到100電子伏。低能電子衍射的優(yōu)點是
容易評價的。由于表面(最初證明是清潔的)具有吸附氣體后引
起的結構變化，可以看作簡單的吸附過程。這個方法是非破壞性
的，但是只能定性地提供表面的物理圖像。主要問題是對散射效
應缺乏完整的理論基礎，因此進行分析是比較困難的。高能反射
電子衍射(RHEED)使用大約30千電子伏的電子束轟擊樣品，
以盡可能接近相切的角度入射。衍射花樣是由接近表面的原子層
產(chǎn)生的；根據(jù)表面結構對它們進行解釋，這是與低能電子衍射相
同的，可是，還不能很好地確定穿透的精確深度。在分子束外延
中使用高能反戴電子衍射，以保證砷化鎵襯底的表面在分子束轟
擊之前是清潔的。正如X射線一樣，電子束也可以用于透射顯微
鏡并產(chǎn)生衍射花樣。
表面強化加表面潤滑處理
是表面強化的軟氮化和增加表面潤滑性的滲硫相結合的復合處
理，經(jīng)過這種復合處理的機械零件適合于需要耐疲勞和要求潤滑
的條件。
以上概述了提高機械零件強度的各種熱處理方法，其中有些復
合處理目前實踐經(jīng)驗還不太多，優(yōu)越性還末充分表現(xiàn)出來，還可
能有更多的復合熱處理方式有待開發(fā)和研究。
下面將按專題探討提高機械零件各項性能的熱處理方法。
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