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本文標題:"碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2016-1-20 17:52:47

碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商

 
關于碳化硅晶體的內部結構及其晶面
 
    蜷線顯微形貌的某些特征
 
  應用多光束干涉法測定了碳化硅晶面上的顯微形貌 ,根據X射線
的研究結果討論了碳化硅表面形貌與其內部結構的密切關系。
  碳化硅晶體有兩種特性:一方面是晶面的螺旋——層狀結構,另
一方面是多型性,亦即內部結構的超周期性;毫無疑義,這兩種性
質是彼此聯系的。
  就對碳化硅晶體晶面上的許多蜷線進行過研究,并不提出了這樣
的假定,即蜷線梯階的高度應該等于梯階高度方向的點陣參數或是
它的倍數,同時,“有規律的晶面蜷線層引起碳化硅晶體獨有的多
層超結構的形成”在研究SIC的結構時指出,SIC晶體中的超周期性
與生長周期性的重復破壞有關。
 
  研究晶面所屬的形貌學和驗證上述假設,碳化硅是一種非常適宜
的對象,由于高硬度,耐酸性以及其他的一些性質,在制備時,這
些晶體的表面不致有任何的變形在化學清洗時也不會有任何的變化
。
 
  我們的注意力曾集中于研究幾乎平滑的晶面的顯微形貌,若此時
晶體的軸垂直于爐心,則晶面通常在晶體面向爐子外圈的一面生長
;“相反”的一面,即在面向爐心的晶面上,通常可以看到骨架的
形成,這些晶面的蜷線的顯微形貌是多種多樣的,無論是“圓形的
”或多角形的,一圈的或多圈的,右旋的或左旋的蜷線都有發現,
蜷線各種不同的結合情況也都曾觀察過,因為在最近發表的許多著
作中,都可以找到有關說明,在此我們不再重復論述。
 

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