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本文標題:"不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學常數"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2016-7-3 21:52:38

不同材料輪廓測量-不同材料對應的光學常數

 
不同材料
    只要物體的表面由單一材料構成,由于只引人了一個全場同一
的變化,光譜位相就不會呈現出問題。然而,當表面并排出現兩種
不同的材料時,對于不同的波長材料在反射時將會引入不同的相移
(除非它們都是折射率虛部k=0的介質材料),而且在兩種材料交接
的邊界上測量得到的高度差是錯誤的。通過就測量中所使用的波長
了解不同材料對應的光學常數,可能校正這種差異
 
    一般說來,當用干涉技術來測量薄膜或者厚膜時,不但是其厚
度,而且其頂部和底部的輪廓都能測量。薄膜干涉的光譜位相具有
一個多項式形式,多項式與所選擇膜的模型式是相匹配的,使用回
歸分析可以確定最佳匹配及薄膜的厚度。
 
    為了得到更高的精度,需要知道系統色散引起的光譜相位,并
將其去扣除。可以利用計算大小來替代,不是計算光譜位相和確定
最佳匹配模擬光譜位相,而是可以利用計算幅度,并且這樣通過獲
得最佳匹配的模擬幅度大小來確定膜層的厚度。這些方法適用于光
學厚度從幾個微米到100nm的膜層。針對光學厚度小于100nm的膜層
,這種方法的靈敏度會明顯減小。
 

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