本文標題："光學成像配合影像測量軟件-專業影像測量工具顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-17 5:35:16

光學成像機制搭配像散式量測系統（ADS）可成為一套完整之光學量測平臺。

此成像機制可觀察量測光點以及物體表面之微小結構間之距離關系，

搭配一致動器可將ADS之量測光點對焦于物體表面上微小結構之不同區域，并量測此結構之高度角度及其變化。

可能的應用范圍：

1. MEMS元件制程良率檢測

2. 光學表面輪廓儀應用。

3. 以懸臂樑為基礎之生化感測器量測應用

優點：

1. 大幅縮短像散式量測系統之雷射光點瞄準時間

2. 提升像散式量測系統之使用方便性

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