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本文標題："表面輪廓量測方法可以使用表面輪廓測厚儀和掃描式顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 技術文章 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-5 23:1:37

表面輪廓的量測方法可以使用表面輪廓測厚儀和掃描式電子顯微鏡

光阻與基板之蝕刻速率對于我們在制作八階微透鏡及灰階微透鏡之重要性，

以及表面輪廓之量測方法有表面輪廓測厚儀及掃描式電子顯微鏡來進行量測八階及灰階微透鏡。

　　杜曼-格林干涉法對于長焦距的灰階微透鏡而言，在焦距的

±0.5cm 處也有干涉條紋的產生，因此焦距的誤差在±2%左右﹔此干

涉法無法量測短焦距的八階微透鏡。云紋干涉法對長焦距或是短焦

距的微透鏡都可用此方法量測，對長焦距的灰階微透鏡而言，若在

元件尺寸內的干涉條紋數多一條或少一條會造成量測焦距的誤差在

2%﹔對短焦距的八階微透鏡而言，焦距的量測誤差仍然太大

(±40%)﹔改進的方式則需儘量增加八階微透鏡移動的距離，使量測

之單位長度的干涉條紋數改變量增加，以提高焦距量測的精確度

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