本文標(biāo)題："小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件檢測(cè)顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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線性軸解析度為1nm，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸為0.00001°，于直線，NC指令實(shí)際跟蹤速率達(dá)±2nm，于分度法為±5/100,000°，
此極佳之伺服追蹤能力被稱為“全無(wú)摩擦之奈米伺服技術(shù)(所有線性滑塊與螺旋為氣靜壓軸承)”。
此外，系統(tǒng)是密封于空氣浴溫控單元內(nèi)，其溫度可控制達(dá)0.01℃，以去除熱成長(zhǎng)誤差。
加工鏡面、過(guò)濾器、柵格、液晶顯示器板、小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件，
大部分組件須約5分鐘加工，圖2a為具高深寬比梯形溝槽之黃銅組件，開(kāi)放角3°，溝槽間距35mm。
高深寬比之梯形溝槽于半導(dǎo)體加工很普遍，然而側(cè)璧粗糙度及ROBOnano加工溝槽之底部邊緣尖銳度遠(yuǎn)
優(yōu)于半導(dǎo)體加工使用之其它方法。圖2b于雙聚焦透鏡模具包含35mm寬及可改變V角度之深度連續(xù)
曲線V溝槽，此外，三維自由曲度表面，如4×4凸形透鏡排列，可利用ROBOnano加工，
材料可為黃銅與矽，透鏡間距290mm，直徑236mm，高16mm，R 448mｍ
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