本文標(biāo)題："金屬材料及微元件表面輪廓測量儀器-測量工具顯微鏡"
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金屬材料及微元件表面輪廓測量儀器-測量工具顯微鏡
一種新式的摩爾(Moiré)輪廓術(shù)之量測方法用于微元件之量測。
使用光柵片產(chǎn)生正弦條紋結(jié)構(gòu)光并結(jié)合由電腦產(chǎn)生之虛擬光柵互相疊加產(chǎn)生摩爾條紋影像。
此方法的優(yōu)點在于可以藉由調(diào)整虛擬光柵之周期來改變產(chǎn)生之摩爾條紋的周期，也因為其優(yōu)越的調(diào)變性在量測時可避免階高量測范圍之限制。
不過有一個問題存在于摩爾條紋影像中，即兩個不同周期之條紋結(jié)構(gòu)光進(jìn)行疊加時，除了疊加的摩爾條紋部分以外，未疊加之高頻條紋結(jié)構(gòu)光亦會殘留于影像上，
使摩爾投光量測法受到影響。為了解決此問題，本研究提出了藉由光柵片產(chǎn)生之條紋結(jié)構(gòu)光經(jīng)投射至物體表面所產(chǎn)生之變形結(jié)構(gòu)光，
與電腦產(chǎn)生之具相同相位之虛擬光柵進(jìn)行四步相移進(jìn)行疊加，如此可獲得一清晰之摩爾條紋影像，
同時，經(jīng)投射至物體表面所產(chǎn)生之變形條紋結(jié)構(gòu)光再與經(jīng)相移(分別為pi/2, pi, 3pi/2)之虛擬光柵分別進(jìn)行上述之疊加演算，
如此可建立具四步相移之清晰摩爾條紋影像。由實驗結(jié)果證明，從標(biāo)準(zhǔn)件上多次階高塊之重復(fù)性量測結(jié)果得知，
所發(fā)展之系統(tǒng)在一個量測標(biāo)準(zhǔn)差均可低于1μm，且量測精密度與Keyence VK-9700掃描顯微鏡相比，
兩者之間之最大相異度在2%以下，相較于傳統(tǒng)四步相移法量測之精確度亦提升1%以上，顯示本研究所提出量測方法之優(yōu)越性。
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