本文標(biāo)題："掃描電子顯微鏡廣泛應(yīng)用在氧化膜形貌的觀察和分析"
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掃描電子顯微鏡廣泛應(yīng)用在氧化膜形貌的觀察和分析
掃描電子顯微鏡SEM
現(xiàn)在掃描電子顯微鏡廣泛應(yīng)用在氧化膜形貌的觀察和分析上。入射
電子束在樣品表面掃描，激發(fā)的二次電子和背散射電子被探測(cè)器接收，
產(chǎn)生電信號(hào)調(diào)節(jié)電視監(jiān)視器的亮度，由于監(jiān)視器的掃描與電子束同步，
而且產(chǎn)生的二次電子和背散射電子的數(shù)量取決于樣品表面某微區(qū)的傾角
和聚焦深度，因此生成的圖像與樣品的表面形貌完全對(duì)應(yīng)。用背散射電
子成像還可獲得有關(guān)原子平均質(zhì)量方面的信息。配置場(chǎng)發(fā)射電子槍的現(xiàn)
代掃描電子顯微鏡圖像"1放大倍數(shù)可高達(dá)100 000倍，分辨率達(dá)1 000 n
m。
因?yàn)槿松潆娮舆€能從固體中激發(fā)出元素的特征x射線，所以可檢測(cè)
固體中存在的元素，如果做適當(dāng)?shù)男?zhǔn)，還可確定各元素的含量。x射
線探測(cè)器的輸出還可用于調(diào)節(jié)監(jiān)視器的亮度，從而得出指定元素的相對(duì)
含量圖。由于能夠同時(shí)給出顯微組織和組成方面的信息，SEM成為研究
氧化膜形貌特征的非常有用的工具。
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