本文標(biāo)題："材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分"
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材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分
表面分析技術(shù)
在很多情況下，我們感興趣的是材料表面非常薄的氧化膜，例如合
金表面最先形成的氧化物的成分，一組具有高度表面靈敏性的技術(shù)可用
來(lái)進(jìn)行這方面的檢測(cè)，Grabke等人對(duì)這些技術(shù)在氧化行為分析方面的應(yīng)
用做了非常好的評(píng)述。
應(yīng)用最廣泛的是俄歇電子譜(AES)，由于俄歇電子的激發(fā)是電子能
級(jí)之間轉(zhuǎn)變的結(jié)果，因此它們的能量具有元素特征，除H和He之外的所
有元素都能被檢測(cè)
淺的地方逸出，所以具有表面靈敏性。俄歇譜可用標(biāo)準(zhǔn)值和發(fā)表過(guò)
的校正因子進(jìn)行定量，。因此與掃描電子形貌對(duì)應(yīng)的X射線圖類似，如
果用人射光束掃過(guò)樣品表面，就能作出成分分布圖。現(xiàn)代儀器中入射電
子束能聚焦到使橫向空間分辨率達(dá)到約50 nm。
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