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本文標題："電子顯微鏡可以觀察微米下材料的表面形貌-金相顯微鏡常識"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-20 1:11:21

電材料之表面形貌及其 vertical PFM 的振幅及相位圖，可明顯看出晶界必定為鐵電區的邊界，

而單一晶粒可以擁有數個小的鐵電區，每個鐵電區的尺寸可以小至幾百奈米的尺寸。

PCT 表面形貌, (b) PCT 的 out-of-plane 鐵電區的 amplitude 及 phase 影像，掃瞄尺寸為 1微米見方。

接著采用膜厚 300nm 的 Bi0.9Pb0.1FeO3(BPFO)鐵電薄膜量測 in-plane 的局部

壓電響應曲線。在圖 4-3 中的紅色十字所標的位置作定點的壓電響應曲線量測，

為其 in-plane 壓電響應曲線的(a)壓電響應相位曲線圖及(b)壓電響應振幅曲線圖及(c) 壓電響應曲線圖。

可知此定點的極化反轉電壓為4.385V，而在此in-plane 壓電響

應曲線中可明顯觀察到有電壓偏移的現象，此偏移的來源可能為表面感應電荷的

貢獻，使施加電壓為4.385V時仍無法順利使極化反轉，造成電壓偏移。

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